SHP-1200AT3
SHP 시리즈는 초고정압·중풍량의 집진기입니다.
기판 분할이나 부착 분진 제거와 같이, 고정압에서의 흡인이 요구되는 공정에 최적인 집진기입니다.
설치 면적을 억제한 설계로 공간 절약화에 공헌합니다.
집진기의 구조와 특징
① 1차 필터
도전성 필터를 표준 탑재하고 있어 정전기의 발생을 억제합니다.
■SHP-1000AT3/SHP-1200AT3
포집 효율 5u 99.9% 이상
■SHP-1200AT3-FB
포집 효율 45u 95% 이상 분진이 봉투에 쌓이기 때문에, 간단하게 필터 교환이 가능합니다.
② 착탈 플랜지
배기구 플랜지의 사이즈가 원터치 교환으로 변경 가능합니다.
※배기 플랜지의 구경은 흡입 플랜지의 구경 이상으로 설정해 주십시오.
③ 배기 필터
HEPA 필터를 탑재하고 있어 클린 룸내에서 사용하실 수 있습니다.
(대응 클린 클래스 1,000 ※공장 출하시 검사값)
④ 2차 필터
전기 부품을 분진으로부터 보호합니다.
⑤ 먼지
빵 회수한 분진을 쉽게 꺼내 버릴 수 있습니다.
집진기의 작동 및 제어
AT3 패널
집진기의 조작이나 상태 확인을 할 수 있는 패널을 탑재하고 있습니다.
기존의 AT 패널로부터 진화해 각종 압력이나 블로어 온도·회전수 등 확인할 수 있는 정보가 충실합니다.
또, 별매의 리모트 케이블(형식:MT-173-8)을 사용하는 것으로, 운전 ON/OFF를 원격 조작할 수 있어 출력 신호를 꺼낼 수 있습니다.
게다가 별매 옵션으로 이더넷 통신이나 RS-485 통신에의 대응도 가능하게 되었습니다.
원격 제어 기능
리모컨 코드(별매품/모델: MT-173-8(3m))를 사용하면 주변기기와 원격으로 조작할 수 있습니다. 호스트 스위치, 용량 수준(풍량) 변경 원격 제어 기능을 사용하여 능력 수준을 변경할 수 있습니다. 각 변경 사항은 기록되고 다음에 재부팅할 때 자동으로 해당 수준으로 조정됩니다. 또한 작동 신호, 필터 막힘 신호, 압력 신호 및 이상 신호를 호스트 컴퓨터에서 출력할 수 있습니다.
LAN/RS-485
AT3 패널의 모든 기능은 LAN 또는 RS-485 통신을 사용하여 작동할 수 있습니다. 컴퓨터를 사용하여 조작할 수도 있습니다.
퀵 릴리스 플랜지(표준: Φ75)(옵션)
- 쉬운 교체
- 사이즈 변경 가능
흡입구 플랜지의 크기는 쉽게 변경할 수 있으며, 본체 구입 후에도 변경이 가능합니다(옵션)
[사이즈 변경 가능]
Φ65: FRJ-D-65-35-108형
Φ50: FRJ-D-50-35-108형
Φ38: FRJ-D-38-35-108형
출력 | 1200W |
전압 · 상 | 200V 단상(50/60Hz) |
정격 전류 | 11.0A |
소음치 | 55 - 70dB |
흡입구 (호스 크기) 크기와 수량 | φ 75(별매 φ 65·φ 55·φ 38) |
전원 코드 | 5m |
질량 | 56.0kg |
본체 크기 (D x W x H) | 495mm × 420mm × 1030mm |
1.풍량 계산식
Q : 필요 풍량 (m3 / min)
Vc : 제어 풍속 (m / sec) · · · 아래 그림 참조
X : 거리 (m) ········ 분진 발생원으로부터 흡입구까지의 거리
A : 개구면 면적 (m2) ... L × W
풍량 Q = 60 x Vc x (10 x X²-A)
후드 | 제어풍속 | |
폐쇄형 후드 | 0.4 | |
개방형 후드 | 가벼운 먼지 | 0.5 |
흄 | 0.25 | |
무거운먼지 | 0.75 | |
외부공기 흐름의 영향을 받음 | 1 |
2.필터모델
1차 필터 | CS-250-300-93P-E |
2차 필터 | CHF-2525-50 |
배기 HEPA 필터 | HEP-3535-69 |
모터 냉각용 흡기 필터 | AE-100 100×33 |
모터 냉각용 배기 HEPA 필터 | HEP-1293-33 |
SHP-1000AT3
SHP 시리즈는 초고정압·중풍량의 집진기입니다.
기판 분할이나 부착 분진 제거와 같이, 고정압에서의 흡인이 요구되는 공정에 최적인 집진기입니다.
설치 면적을 억제한 설계로 공간 절약화에 공헌합니다.
집진기의 구조와 특징
① 1차 필터
도전성 필터를 표준 탑재하고 있어 정전기의 발생을 억제합니다.
■SHP-1000AT3/SHP-1200AT3
포집 효율 5u 99.9% 이상
■SHP-1200AT3-FB
포집 효율 45u 95% 이상 분진이 봉투에 쌓이기 때문에, 간단하게 필터 교환이 가능합니다.
② 착탈 플랜지
배기구 플랜지의 사이즈가 원터치 교환으로 변경 가능합니다.
※배기 플랜지의 구경은 흡입 플랜지의 구경 이상으로 설정해 주십시오.
③ 배기 필터
HEPA 필터를 탑재하고 있어 클린 룸내에서 사용하실 수 있습니다.
(대응 클린 클래스 1,000 ※공장 출하시 검사값)
④ 2차 필터
전기 부품을 분진으로부터 보호합니다.
⑤ 먼지
빵 회수한 분진을 쉽게 꺼내 버릴 수 있습니다.
집진기의 작동 및 제어
AT3 패널
집진기의 조작이나 상태 확인을 할 수 있는 패널을 탑재하고 있습니다.
기존의 AT 패널로부터 진화해 각종 압력이나 블로어 온도·회전수 등 확인할 수 있는 정보가 충실합니다.
또, 별매의 리모트 케이블(형식:MT-173-8)을 사용하는 것으로, 운전 ON/OFF를 원격 조작할 수 있어 출력 신호를 꺼낼 수 있습니다.
게다가 별매 옵션으로 이더넷 통신이나 RS-485 통신에의 대응도 가능하게 되었습니다.
원격 제어 기능
리모컨 코드(별매품/모델: MT-173-8(3m))를 사용하면 주변기기와 원격으로 조작할 수 있습니다. 호스트 스위치, 용량 수준(풍량) 변경 원격 제어 기능을 사용하여 능력 수준을 변경할 수 있습니다. 각 변경 사항은 기록되고 다음에 재부팅할 때 자동으로 해당 수준으로 조정됩니다. 또한 작동 신호, 필터 막힘 신호, 압력 신호 및 이상 신호를 호스트 컴퓨터에서 출력할 수 있습니다.
LAN/RS-485
AT3 패널의 모든 기능은 LAN 또는 RS-485 통신을 사용하여 작동할 수 있습니다. 컴퓨터를 사용하여 조작할 수도 있습니다.
퀵 릴리스 플랜지(표준: Φ75)(옵션)
- 쉬운 교체
- 사이즈 변경 가능
흡입구 플랜지의 크기는 쉽게 변경할 수 있으며, 본체 구입 후에도 변경이 가능합니다(옵션)
[사이즈 변경 가능]
Φ65: FRJ-D-65-35-108형
Φ50: FRJ-D-50-35-108형
형 Φ38: FRJ-D-38-35-108형
출력 | 1200W |
전압 · 상 | 200V 단상(50/60Hz) |
정격 전류 | 11.0A |
소음치 | 56 - 71dB |
흡입구 (호스 크기) 크기와 수량 | φ 75(별매 φ 65·φ 55·φ 38) |
전원 코드 | 5m |
질량 | 45.0kg |
본체 크기 (D x W x H) | 420mm × 360mm × 1020mm |
1.풍량 계산식
Q : 필요 풍량 (m3 / min)
Vc : 제어 풍속 (m / sec) · · · 아래 그림 참조
X : 거리 (m) ········ 분진 발생원으로부터 흡입구까지의 거리
A : 개구면 면적 (m2) ... L × W
풍량 Q = 60 x Vc x (10 x X²-A)
후드 | 제어풍속 | |
폐쇄형 후드 | 0.4 | |
개방형 후드 | 가벼운 먼지 | 0.5 |
흄 | 0.25 | |
무거운먼지 | 0.75 | |
외부공기 흐름의 영향을 받음 | 1 |
2.필터모델
1차 필터 | CS-200-300-75P-E |
2차 필터 | CHF-2525-50 |
배기 HEPA 필터 | HEP-3030-69 |
모터 냉각용 흡기 필터 | AE-100 113×47 |
배기필터 | HEP-1293-33 |